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激光干涉仪测量五轴数控机床的倾斜误差 [复制链接]

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银光图片
激光干涉仪以光波为载体,其光**长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器,在高端**领域应用广泛。

  [b]SJ6000激光干涉仪[/b]集光、机、电、计算机等技术于一体,产品采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现最高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;采用高性能计算机控制系统及软件技术,支持中文、英文和俄文语言,友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。
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  激光干涉仪最主要的应用之一就是机床精度检测,今天小编就给大家介绍一下如何用SJ6000激光干涉仪测量五轴机床的平移轴角度误差。

平移轴角度误差

  五轴机床每根平移轴有三个角度误差,一个滚动误差和两个倾斜误差。对于滚动误差,激光干涉仪无法测得,需要用其他设备实现,而倾斜误差,均可以激光干涉仪获得。角度测量配置主要由SJ6000主机、角度镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成,可满足±10°范围内的角度测量。

  角度反射镜与待测的运动轴相连,角度干涉镜是静止安装。激光头射出一束光至角度干涉镜,其内部的分光镜将光束分成两部分,一部分直接通过干涉镜,并从角度反射镜的某一半反射回激光头(参考光束 A1)。另一条光束则通过角度干涉镜的角度分光镜,传到角度反射镜的另一半,角度反射镜使光束通过干涉镜返回到激光头(测量光束 A2)。当倾斜误差发生时,角度反射镜会有俯仰等运动,即角度反射镜会相对于固定的角度干涉镜发生小角度的旋转。这会导致两条光束的光程不一致,其差值即可获取角度误差的大小。
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▲ 角度测量的光路原理构建图

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▲ 运动轴的俯仰角度测量示意图

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▲ 运动轴的偏摆角度测量示意图[/align]
最后编辑szzhongtu5 最后编辑于 2019-10-21 15:41:43
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